本发明公开了可调谐MEMS装置和可调谐MEMS装置的制造方法。根据本发明的实施方式，半导体装置包括基板、可移动电极和对电极。可移动电极或对电极包括第一区域和第二区域，其中该第一区域与第二区域隔离开，其中该第一区域被配置为被调谐，其中第二区域被配置为提供感测信号或控制系统，以及其中该可移动电极和该对电极机械地连接至该基板。