用户登录
用户注册
English
技术供应
>技术供应
>技术需求
>协作成员
>专家委员
>新闻资讯
首页
中心简介
新闻资讯
工作动态
行业资讯
特别关注
热点视频
技术供应
技术需求
协作成员
专家智库
专家咨询委员会
数字展会
成功案例
配套服务
下载中心
《中阿科技论坛》
您当前的位置:
首页
>
供应列表
> 技术详情
基于钯/二氧化钛/二氧化硅/硅异质结的氢气探测器
编号:S000020900
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-27
浏览:
2402
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 山东
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明具体提供了一种以二氧化硅覆盖的硅片为衬底,以二氧化钛半导体为基体材料,以钯为催化层的高性能氢气探测器。首先利用射频磁控溅射方法在二氧化硅覆盖的硅衬底上生长二氧化钛薄膜;然后通过掩膜和直流磁控溅射方法在薄膜表面制备比二氧化钛膜面积小的钯催化层。本发明利用钯膜的催化效应和二氧化钛/二氧化硅/硅异质结的放大效应制备的钯/二氧化钛/二氧化硅/硅异质结氢气探测器具有工艺简单,成本低廉,无需加热器,能在室温下工作,且具有耗能低,灵敏度高,响应、恢复时间短的特点,对氢气具有良好的检测性能,具有重要的应用前景。
分享到:
申请对接
收藏此供应
推荐给好友
穿越到手机
联系方式
在线QQ:
机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
认证方式:
相似供应
有机发光二极管显示器及其制造方法
所在区域:中国
转让类型:
科技服务
用于发光二极管的高温无金晶圆接合
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
发光二极管驱动系统、方法及显示装置
所在区域:中国
转让类型:
科技服务
一种发光二极管外延材料结构
所在区域:中国
转让类型:
技术转让