本发明提供了一种阵列基板及其制作方法和显示面板，用以解决现有技术中因隔垫物破损导致的不良显示问题。所述方法包括：在衬底基板上同层形成包括扫描线和隔垫物基材的图形；在完成前述步骤的基板上形成栅绝缘层；在完成前述步骤的基板上形成半导体薄膜、掺杂半导体薄膜和源漏金属薄膜，通过构图工艺形成包括有源层、数据线、源电极和漏电极的图形；在完成前述步骤的基板上形成钝化层；利用干法刻蚀法，在隔垫物基材的上方、需要设置隔垫物的位置依次对钝化层、有源层和栅绝缘层进行刻蚀，形成过孔，通过过孔中暴露的隔垫物基材与刻蚀气体形成的电场，牵引反应腔内刻蚀过程中产生的组分沉积到所述隔垫物基材表面，生成隔垫物。