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> 技术详情
一种像素结构及其制造方法、显示装置
编号:S000020769
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-17
浏览:
3176
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供了一种像素结构及其制造方法、显示装置,所述方法包括:通过第一道掩模板工艺形成栅极线后,依次进行栅绝缘(GI)层、钝化(PVX)层的镀膜;通过第二道掩模板工艺,得到TFT漏极、像素电极和位于所述TFT漏极之上的半导体层;通过第三道掩模板工艺,得到TFT源极以及TFT源极和漏极之间的半导体沟道。本发明通过三道掩模板工艺即可制得需要的像素结构,并且在制造过程中未改变TFT的特性,实现工艺过程最简化,节省制造成本,有利于阵列基板的推广应用。
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