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一种像素结构及其制造方法、显示装置
编号:S000020769 刷新日期: 有效日期至:2020-10-17 浏览:3337 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供了一种像素结构及其制造方法、显示装置,所述方法包括:通过第一道掩模板工艺形成栅极线后,依次进行栅绝缘(GI)层、钝化(PVX)层的镀膜;通过第二道掩模板工艺,得到TFT漏极、像素电极和位于所述TFT漏极之上的半导体层;通过第三道掩模板工艺,得到TFT源极以及TFT源极和漏极之间的半导体沟道。本发明通过三道掩模板工艺即可制得需要的像素结构,并且在制造过程中未改变TFT的特性,实现工艺过程最简化,节省制造成本,有利于阵列基板的推广应用。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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