本发明公开了一种无源无线温度气压传感器，采用方形膜电容式气压传感器和悬臂梁电容式温度传感器，包括从下至上依次连接的玻璃衬底、半导体衬底、下介质层、下金属层、中间介质层、中间金属层、上介质层和上金属互连线，气压传感器下电极和引线的材质为重掺杂半导体。本发明的压敏谐振回路和热敏谐振回路分频工作，同时无线测量温度、气压。本发明传感器采用CMOS MEMS工艺制备，具有较好的性能和较低的成本，可以应用于密闭环境或恶劣条件下温度、气压两种参数的测量与采集。