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一种鳍型PIN二极管的制造方法
编号:S000020753 刷新日期: 有效日期至:2020-09-29 浏览:4165 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种鳍型PIN二极管的制造方法,其特征在于:所述制造方法依次包括如下步骤:(1)准备衬底;(2)在该衬底上采用n型杂质对其进行高浓度掺杂,以形成N+掺杂区;(3)在N+掺杂区的表面上旋涂光刻胶,光刻后对其进行干法刻蚀,以形成倒T型的N+掺杂层;(4)在所述N+掺杂层的两侧横向表面上外延生长N-掺杂层;(5)在所述N-掺杂层的两侧表面上形成绝缘层;(6)在所述N-掺杂层上外延生长本征半导体层;(7)在所述本征半导体层上外延生长P-掺杂层;(8)在所述P-掺杂层上外延生长P+掺杂层。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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