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一种直接发光型微显示阵列器件及其制备方法
编号:S000020708 刷新日期: 有效日期至:2020-10-06 浏览:2430 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种直接发光型微显示阵列器件及其制备方法,所述显示阵列包括衬底外延片、半导体矩阵隔离区、电子型导电层、发光层、空穴型导电层、电子型导电电极、空穴型导电电极、隔离保护层、阳极线、阴极线。所述方法采用干法刻蚀外延层得到电子型导电层,形成多个矩阵单元;采用离子注入电子型导电层,直至衬底,实现相邻单元的隔离,获得半导体矩阵隔离区;电子束蒸发金属形成电子型导电电极,引出阴极线;用PECVD淀积隔离保护层;电子束蒸发金属形成空穴型导电电极,引出阳极线;阳极线与阴极线的在空间上交叉的区域即为显示像素。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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