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> 技术详情
一种直接发光型微显示阵列器件及其制备方法
编号:S000020708
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-06
浏览:
2430
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及一种直接发光型微显示阵列器件及其制备方法,所述显示阵列包括衬底外延片、半导体矩阵隔离区、电子型导电层、发光层、空穴型导电层、电子型导电电极、空穴型导电电极、隔离保护层、阳极线、阴极线。所述方法采用干法刻蚀外延层得到电子型导电层,形成多个矩阵单元;采用离子注入电子型导电层,直至衬底,实现相邻单元的隔离,获得半导体矩阵隔离区;电子束蒸发金属形成电子型导电电极,引出阴极线;用PECVD淀积隔离保护层;电子束蒸发金属形成空穴型导电电极,引出阳极线;阳极线与阴极线的在空间上交叉的区域即为显示像素。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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