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4H-SiC基中子探测器用6LiF/10B4<
编号:S000020643 刷新日期: 有效日期至:2020-12-25 浏览:2493 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种4H-SiC基半导体中子探测器用的6LiF/10B4C复合中子转换膜制备方法,采用射频磁控溅射技术,主要包含镀前处理、偏压反溅射清洗、预溅射清洗以及沉积6LiF/10B4C复合转换膜等步骤。镀前处理为采用丙酮、乙醇超声波清洗;反溅射和预溅射清洗去除4H-SiC基体及靶材杂质。采用本发明获得的6LiF/10B4C转换膜层耐辐照损伤、耐高温、厚度能精确可控、与4H-SiC基体结合性能优良和制备工艺重复性强,易实现产业推广。本发明制备的6LiF/10B4C复合转换膜层与半导体4H-SiC器件合成的中子探测器实测效果具有噪音小、探测中子效率高、以及高γ抑制性等优点。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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