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> 技术详情
制造鳍器件的结构和方法
编号：S000020598
刷新日期：
有效日期至：
2020-11-24
浏览：
3196
次
对接邀请：
0
次
意向价格：
面议
所在区域：
中国 -
技术领域：
智能制造 - 装备制造业
转让类型：
科技服务
专利类型：
发明专利
技术成熟度：
可以量产
供应描述
提供了一种形成带有鳍的半导体器件的结构和方法。在实施例中，硬掩模用于图案化栅电极层并且然后被去除。在去除硬掩模之后，栅电极层可以被分成独立栅电极。本发明还提供了一种制造鳍器件的结构和方法。
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机构地址：
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式：
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