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制造鳍器件的结构和方法
编号:S000020598 刷新日期: 有效日期至:2020-11-24 浏览:3368 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
提供了一种形成带有鳍的半导体器件的结构和方法。在实施例中,硬掩模用于图案化栅电极层并且然后被去除。在去除硬掩模之后,栅电极层可以被分成独立栅电极。本发明还提供了一种制造鳍器件的结构和方法。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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