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光致抗蚀外涂组合物和电子设备的形成方法
编号:S000020564
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-26
浏览:
2447
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
光致抗蚀涂覆组合物和电子设备的形成方法。提供了光致抗蚀涂覆组合物、以涂覆组合物涂覆的基底和通过负性显影方法形成电子设备的方法。所述组合物、涂覆基底和方法尤其用于半导体设备的制造。提供了一种光致抗蚀外涂组合物,所述组合物包括:含下述通式(I)所示的单体作为可聚合单元的聚合物;有机溶剂;和碱性淬灭剂。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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