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一种带浮空场板的超结金属氧化物场效应管终端结构
编号:S000020527 刷新日期: 有效日期至:2020-11-06 浏览:2440 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种带浮空场板的超结金属氧化物场效应管终端结构,包括:兼做漏区的N型重掺杂硅衬底、过渡区I及终端区II,在N型重掺杂硅衬底的上表面设有N型掺杂硅外延层,在N型掺杂硅外延层内设有过渡区I及终端区II,在过渡区I及终端区II内超结结构,在过渡区I内设有P型掺杂半导体区,在P型掺杂半导体区的上方设有过渡区多晶硅层,过渡区多晶硅层电连接有第一金属场板,在终端区II的各个N型掺杂硅柱状区域的上方分别设有终端区多晶硅层,各个终端区多晶硅层分别向过渡区I延伸并分别止于相邻的P型掺杂柱状半导体区的上方,在各个终端区多晶硅层上电连接有第二金属场板,第二金属场板向终端区II的外边界延伸并止于下一块终端区多晶硅层的上方。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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