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电容式压力传感器和惯性传感器集成器件及其形成方法
编号:S000020524 刷新日期: 有效日期至:2020-12-15 浏览:2400 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 浙江 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供了一种电容式压力传感器和惯性传感器集成器件及其形成方法,该器件包括:半导体衬底;覆盖该半导体衬底的外延层,该外延层下方的压力传感器区域内的半导体衬底中具有空腔;位于外延层上的第一介质层;位于第一介质层上的第一导电层;位于第一导电层上的第二介质层;位于第二介质层上的第二导电层,空腔上方的第二导电层被图形化为多个并列的电容极板,惯性传感器区域的第二导电层被图形化为可动质量块;位于第二导电层上的电极层,压力传感器区域的电极层被图形化为压力传感器布线,惯性传感器区域的电极层被图形化为惯性传感器压点区。本发明将电容式压力传感器和惯性传感器集成在同一器件中,使得芯片面积更小,成本更低。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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