本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、液晶显示装置，方法步骤包括：提供一基板，在基板上形成第一导电薄膜，通过构图工艺形成包括像素电极的图案；进而形成金属薄膜，通过构图工艺形成包括公共电极线、栅电极线、数据线、源电极和漏电极的图案；进而形成半导体层薄膜，通过构图工艺形成包括半导体层的图案；进而形成栅极绝缘层薄膜，通过构图工艺形成包括栅极绝缘层和过孔的图案；在形成上述图案的基板上形成第二导电薄膜，通过构图工艺形成包括栅电极和公共电极的图案。在基板的同一层同步形成TFT的数据线、栅电极线、源电极和漏电极，源电极和漏电极之间形成半导体层，该过程可控性好，工艺性能稳定。