本发明涉及一种利用导电式原子力显微镜对核聚变中具有导电性或辐照后能够导电的材料辐照后内部损伤进行测试的方法，属于材料科学技术领域。本方法采用导电模块与原子力显微镜相结合，利用能够发射和接收电子的导电针尖，对半导体材料，导体材料和辐照后导电的材料进行分析，从而理解辐照导致材料损伤的机理。利用导电式原子力显微镜具有独特的优势：精度高，可以直接反应样品表面的纳米结构和导电性，可以测试纳米突起的导电性，可以应用于半导体材料，能够分析材料内部缺陷机制，为核聚变材料辐照损伤提供了更有效的研究手段。