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> 技术详情
一种具有双温控制功能的加热器的加工方法
编号:S000020445
刷新日期:
有效日期至:
2020-09-25
浏览:
2422
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种具有双温控制功能的加热器的加工方法,其加工步骤如下:a.采用的铝合金加热器主体;b.采用高性能的耐热镍铬铁合金外壳加热管;c.加热管安装入加热器主体;由考虑气体的热膨胀系数的盖板焊接密封;d.采用双接口热电偶,插入加热器主体带U形沟槽面的中央孔中;e.冷却加热管道设置在加热管上表面;分别使用冷或热的气体通过冷却加热管道来冷却或加热;f.加热器上加工密封面,保证生产时腔室的真空度。本发明通过加热管内部的精确设计的高性能加热丝产生热量,并通过热量的传导使加热器主体共同发热,通过温度控制器及冷却系统精确提供制造所需的各种温度。可以使半导体晶圆非常迅速地提高温度,从而提高生产效率。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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