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一种梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的制备方法
编号:S000020435 刷新日期: 有效日期至:2020-11-01 浏览:2280 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 山东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明属于一维纳米结构半导体氧化物气敏传感器制备技术领域,涉及一种利用化学气相沉积方法制备可以在室温条件下进行检测一氧化碳的梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的方法,先按照需要选择晶体的生长条件,利用改进的化学气相沉积法制备出梳状纳米结构氧化锌;再将梳状纳米结构氧化锌分散到金单元格阵列上,将存在氧化锌的两相邻单元格用微电极连接,采用常规半导体封装工艺封装在外壳内,制备出氧化锌气敏传感器;传感器在常温下工作,其结构简单,功耗小;制备工艺简单,成本低,生长的氧化锌晶体纯度高、完整性好;气体接触反应的表面积大;接触电阻小,梳干处的氧化锌起收集、传导电流的作用,传感灵敏度高。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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