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一种扇出型圆片级芯片封装方法
编号:S000020430 刷新日期: 有效日期至:2020-10-25 浏览:2096 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种扇出型圆片级芯片封装方法,属于半导体芯片封装技术领域。它包括芯片(1)、金属微结构(2)、高密度布线层(4)、硅腔体(5)、键合层(6)和焊球凸点(7),在芯片(1)上通过溅射、光刻、电镀等工艺形成金属微结构(2),将芯片(1)倒装在高密度布线层(4)上,用光学掩膜、刻蚀等方法在硅腔体(5)上形成下凹的硅腔(511),所述硅腔体(5)将芯片(1)扣置在硅腔(511)内,所述高密度布线层(4)与硅腔体(5)通过键合层(6)键合,加热使包封料层(52)和键合层(6)固化成形。本发明的封装成本低、扇出(Fanout)结构的支撑强度牢固、封装良率高、适用于薄型结构的扇出型圆片级芯片封装。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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