本发明涉及偏振保持平面光波光路及制备方法，属于集成光电子器件技术领域。偏振保持平面光波光路结构包括衬底、缓冲层、芯层和覆盖层，在缓冲层内设有折射率不同于的第一柱体阵列；或者在覆盖层内设有第二柱体阵列。所述柱体阵列由平行排列的柱体构成，该结构可以为空心玻璃毛细管、实心玻璃毛细管、空心方形柱或者实心方形柱，由此结构构成的平面光波光路具有高双折射效应，可有效地解决在平面光波光路中传输光波偏振相关问题。本发明易于实现，工艺成熟和半导体工艺兼容性好，为实现光通信、传感、光子系统中高性能光信号处理芯片或器件奠定了基础。