一种制程水装置，包括：水槽，所述水槽用于承载液体，所述液体用于对半导体制造工艺装置进行热置换；位于水槽内的冷水管道，所述冷水管道部分或全部位于水槽内的液面以下，所述冷水管道用于冷却水槽内的液体；位于所述水槽侧壁的注水口，液体通过所述注水口注入水槽内；固定于所述水槽外壁表面的漏水检测装置，所述漏水检测装置的位置与注水口的位置对应，所述漏水检测装置用于检测所述注水口是否漏水，并在所述注水口漏水达预设量时发出检测信号；控制装置，用于接收所述漏水检测装置发出的检测信号，以停止工艺装置的工作。制程水装置安全性提高。