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> 技术详情
一种影像传感器及其制造方法
编号:S000020408
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-25
浏览:
2748
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 湖北
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及半导体制造领域,具体来说是一种影像传感器及其制造方法。本发明包括以下步骤:在晶圆上刻蚀出需要填充的沟槽及通孔;对所述沟槽及通孔的拐角处使用惰性气体轰击,对所述拐角进行倒角处理,使所述沟槽及通孔开口增大;使用等离子体刻蚀法刻蚀所述沟槽及通孔拐角处,使所述沟槽及通孔的拐角圆滑;往所述沟槽及通孔中通过电镀方式填充铜。使用惰性气体轰击所述开口处并利用等离子对所述开口处进行处理,使沟槽及通孔的开口更大更圆滑,对所述沟槽及通孔进行电镀铜填充时,铜不易在开口处堆积,这样就可以避免封口以及孔洞现象。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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