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一种触发增强多晶二极管及其制作方法
编号:S000020402 刷新日期: 有效日期至:2020-10-07 浏览:3190 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及半导体制造领域,具体地说涉及一种触发增强多晶二极管。所述触发增强多晶二极管,包括半导体衬底、设置在半导体衬底上的栅氧层、设置在栅氧上的多晶硅层以及设置在多晶硅层上的多层金属,多层金属包括第一金属引出和第二金属引出;多晶硅层为注入了P型杂质和N型杂质的PIN二级管;PIN二级管的I区为低浓度P-区域或低浓度N-区域;PIN二级管的I区之下设有高浓度注入区域;第一金属引出与PIN二级管的P注入区和高浓度注入区域连接形成阳极,第二金属引出与PIN二级管的N注入区连接形成阴极。本发明还提供一种触发增强多晶二极管的制作方法。本发明具有良好的工艺兼容性及更强的静电保护能力。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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