一种集成式湿度传感器，包括半导体衬底；位于所述半导体衬底上的集成电路；位于所述集成电路上的传感部件，所述传感部件通过金属互连线与所述集成电路连接；所述传感部件依次包括位于金属互连线上的电极、电极上的保护层、保护层上的测量层，所述测量层由介电常数湿度敏感材料构成。本发明还提供了一种集成式湿度传感器的制造方法，包括：在半导体衬底上形成集成电路；在集成电路上形成金属互连线；在金属互连线上形成传感部件，依次包括位于金属互连线上的电极、电极上的保护层、保护层上的测量层，所述测量层由介电常数湿度敏感材料构成。本发明所述的集成式湿度传感器，精度高，寄生参数小，成本低廉，体积小，有利于实现数字采集系统。