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一种固态成像探测器
编号:S000020386 刷新日期: 有效日期至:2020-12-29 浏览:2499 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种固态成像探测器,探测器每个单元的构成是:在基底P型半导体硅材料1上方的两侧设有重掺杂的N型半导体区域,分别构成探测器的两个漏区2,在基底P型半导体硅材料上方的中央设有重掺杂的N型半导体区域,构成探测器的源区3。两个漏区和共用源区之间基底的正上方依次分别设有隧穿氧化层4、光电子存储层5、阻挡绝缘介质层6和控制栅极7,控制栅极的上方覆盖有光阻挡层8。探测器的两个漏区和共用的源区之间分别形成两个MOSFET结构的存储管。探测器的源区和漏区的大小不对称,漏区2面积较小,且漏区表面被金属硅化物所覆盖9,防止光照入漏区。探测器的源区3面积较大,为探测器的光电转换区。探测器的源区采用N+注入形成的埋层构成,源区半导体表面没有被金属硅化物所覆盖。从控制栅极往下到基底层没有对探测光波透明的或半透明的窗口,而在源区的上方设有对光波透明的或半透明的窗口。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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