一种油溶性氧化铟氧化锡纳米微粒及气敏薄膜的制备方法，属于半导体材料领域。其特征是利用金属有机前驱体分解法制备氧化铟氧化锡及锡掺杂氧化铟纳米微粒并用甩膜法制备薄膜，所用金属有机前驱体为相应金属的乙酰丙酮化合物。该制备方法的原料易得、操作简单，有利于产品的大规模工业化生产。所制备的氧化铟氧化锡半导体纳米薄膜具有结构均一性和性能稳定性，发光性能良好，用该薄膜制备的原型器件具有很好的气敏特性。