本发明实施例提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置，涉及显示技术领域，提出一种新的适用于薄膜晶体管有源层的材料，可以扩大有源层在材料上的可选择性，也可基于有源层的多种可选择材料来提高薄膜晶体管在工艺、成本方面的改善空间。该薄膜晶体管包括设置在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层、源极和漏极；其中，所述有源层的材料为高简并半导体。用于薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及其制造。