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一种提高静态随机存储器读出冗余度的方法
编号:S000020340 刷新日期: 有效日期至:2020-11-09 浏览:2059 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种提高静态随机存储器读出冗余度的方法,其中,包括下列步骤:提供一包括NMOS晶体管、PMOS晶体管和控制管的半导体衬底;在所述PMOS晶体管和所述控制管的表面覆盖一层光刻胶,并且对所述NMOS晶体管进行刻蚀,去除掉所述源极和漏极的硅,在所述NMOS晶体管的源极和漏极形成凹槽;进行外延生长碳化硅工艺,在所述凹槽内淀积碳化硅(SiC)。本发明在不增加现有工艺步骤的同时,降低了控制管器件的载流子迁移率,从而增大了控制管的等效电阻,进而在读取过程中,降低了节点的电位,从而提高了随机存储器的读出冗余度。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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