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一种混合非挥发快闪存储器及其存储系统
编号:S000020312 刷新日期: 有效日期至:2020-12-16 浏览:2069 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种混合非挥发快闪存储器,该存储器的存储单元包括:位于所述半导体衬底上的沟道区,位于所述沟道区之上的由隧穿氧化层、氮化硅层、阻挡氧化层及多晶硅栅极层依次排列形成的栅极,以及位于所述栅极第一边缘处所述半导体衬底中的源端和位于所述栅极第二边缘处所述半导体衬底中的漏端。本发明实施例通过采用高密度的双位非均匀沟道器件作为存储单元,并以此在同一个芯片上构成NOR阵列和NAND阵列,利用同一种工艺形成eNOR闪存和NAND闪存的单芯片混合存储,从而以较小的芯片面积实现NAND闪存的大容量数据存储和eNOR闪存的快速程序读取。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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