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多位非挥发存储器及其操作方法
编号:S000020309 刷新日期: 有效日期至:2021-01-06 浏览:2384 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种多位非挥发存储器及其操作方法,该存储器包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底中的沟槽;形成在所述半导体衬底中、所述沟槽两侧的源区和漏区;形成在所述沟槽的下侧壁和底壁上的第一隧穿介质层,形成在所述第一隧穿介质层上的调控栅;和形成在所述沟槽的上部的栅结构,所述栅结构包括:形成在所述沟槽的上侧壁和所述调控栅上的第二隧穿介质层、形成在所述第二隧穿介质层上的电荷俘获层、形成在所述电荷俘获层上的阻挡介质层、形成在所述阻挡介质层上的栅极。根据本发明实施例的非挥发存储器,具有编程功耗低、编程窗口大、器件的操作可靠性高的优点。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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