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> 技术详情
自动化系统
编号:S000020250
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-02
浏览:
2280
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种自动化系统,包括光学字符识别装置、设备自动控制模块和标准机械界面装置,光学字符识别装置获取半导体设备上操作工选择的生产参数信息,并将该生产参数信息传送至设备自动控制模块,设备自动控制模块将该生产参数信息与标准参数信息进行比对,若两者一致,则控制标准机械界面装置将晶圆盒传送至半导体设备上,若两者不一致,则控制标准机械界面装置不动,从而通知操作工进行检查工作,避免了产品进行错误的工艺,也避免了产品的报废或者良率低的问题的发生,进而保证了产品的性能,提高了旧型半导体设备的使用率,提高了生产效率,降低了生产成本。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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