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自动化系统
编号:S000020250 刷新日期: 有效日期至:2021-01-02 浏览:2442 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种自动化系统,包括光学字符识别装置、设备自动控制模块和标准机械界面装置,光学字符识别装置获取半导体设备上操作工选择的生产参数信息,并将该生产参数信息传送至设备自动控制模块,设备自动控制模块将该生产参数信息与标准参数信息进行比对,若两者一致,则控制标准机械界面装置将晶圆盒传送至半导体设备上,若两者不一致,则控制标准机械界面装置不动,从而通知操作工进行检查工作,避免了产品进行错误的工艺,也避免了产品的报废或者良率低的问题的发生,进而保证了产品的性能,提高了旧型半导体设备的使用率,提高了生产效率,降低了生产成本。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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