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闪存的存储单元及形成方法
编号:S000020201 刷新日期: 有效日期至:2020-11-10 浏览:2061 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种闪存的存储单元及形成方法,其中,一种闪存的存储单元包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括阵列区和台阶区,所述台阶区在阵列区两侧;依次位于半导体衬底表面的隔离层、底层选择栅和底层介质层;位于所述底层介质层表面的控制栅层,所述控制栅层还包括:若干层多晶硅层和位于各层多晶硅层表面的若干层间介质层;贯穿所述阵列区的控制栅层厚度的记忆插塞阵列;位于台阶区的控制栅层内的若干层多晶硅层,自最底层至最顶层逐层递减形成阶梯,所述阶梯的各级台阶在半导体衬底上的投影排列呈线形,且所述线形与阵列区与台阶区相接触的边界平行。本发明实施例提供的闪存的存储单元使闪存的位密度提高,且位成本降低。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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