本发明提供了一种显示装置、阵列基板及其制造方法。本发明在所述制造方法中，仅通过三次光刻工艺，即可形成所需要的图案，其中，通过一次光刻工艺就形成了包括半导体层图案和刻蚀阻挡层图案，相比于现有技术采用两次光刻工艺分别形成半导体层图案和刻蚀阻挡层图案的方法，能够减少一次光刻工艺，从而可以大大降低成本并提高生产效率。