本发明公开了一发光二极管反射电极的钝化保护方法，包括步骤：在一基板上形成发光外延层，其至下而上包括第一半导体层、发光层和第二半导体层；在所述发光外延层上形成反射金属电极结构，包括金属反射层、金属隔离层和金属电极层；采用化学溶液对所述金属反射层的四周侧壁进行金属钝化，完成金属电极结构的钝化保护。