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炉体排风控制装置
编号:S000019988 刷新日期: 有效日期至:2020-11-17 浏览:2098 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及半导体工艺热处理领域,尤其是涉及一种炉体排风控制装置,包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元,所述的开关机构设置有开关主体,所述的气压驱动单元可驱动该开关主体,使该开关主体直线往复运动,从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。本发明对炉体排风的开关机构进行有效控制,使炉体排风控制可靠安全;同时能够有效阻挡炉体热量的逸出,具有良好的隔热效果;本发明的炉体排风控制装置结构简单,能够进行精确运作,且成本较低。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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