本发明披露了背照式图像传感器及其制作方法，其在制作过程中不需要涉及机械研磨过程或化学机械平面化过程。在一个实施例中，图像传感器包括一半导体衬底、在半导体衬底内的多个光感应元件、和一形成在半导体衬底内的空腔。光感应元件以平面方式排列。空腔有一基面在光感应元件之上。空腔的出现允许图像经过空腔基面而到达光感应元件。空腔可以通过蚀刻半导体衬底而制作。当进行蚀刻时，还可以使用搅动。