一种低水蒸气含量气体湿度精确控制装置，属于实验设备领域。包括流量计；湿度自动控制仪表；湿度预稳定模块,由加热套,预湿室,海绵填充物,隔板,注水口组成；湿度控制模块,由一级湿度控制室,二级湿度控制室,排水口组成。本发明使用电阻加热与半导体制冷片控温干燥技术结合，实现低水含量气体湿度控制的自动化，能够产生含量可控的饱和水蒸气，可以在实验室条件下较大范围湿度的含水气体的供应,为研究者提供了控制反应气体中水含量简单便捷的途径。本发明控制气体湿度范围为低水含量范围,在0.15克水每立方米气体至20克水每立方米气体之间,适用于气体精密低水含量控制。