本发明公开了一种涉及薄膜晶体管领域的氧化锌锡薄膜的制备方法，首先采用2-乙基己酸亚锡作为锡的前驱体材料制备前驱体溶液，然后，将前驱体溶液在无定形材料形成的涂布面上涂布成薄膜；最后进行热处理，热处理程序采用20至80℃/min的升温速率得到氧化锌锡薄膜。本发明还提供该制备方法制备的氧化锌锡薄膜、采用该氧化锌锡薄膜作为半导体层的薄膜晶体管以及该薄膜晶体管的制备方法。本发明解决了现有技术中采用2-乙基己酸亚锡作为锡的前驱体材料制备的氧化锌锡薄膜形成的薄膜晶体管的载流子迁移率较低的问题。