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一种发光二极管打线电极的制造方法
编号:S000019943 刷新日期: 有效日期至:2021-01-06 浏览:2251 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种发光二极管打线电极的制造方法,依次包括如下步骤:(1)自下而上依次形成p型半导体层、半导体发光层和n型半导体层;(2)在n型半导体层上形成透明的平坦电极;(3)在平坦电极上蒸镀合金金属层;(4)对合金金属层进行光刻、刻蚀工艺,从而将合金金属层形成为凸块电极;(5)对凸块电极的上表面以及所有侧表面进行粗化处理,从而形成凸块粗化电极。其中凸块粗化电极的表面粗糙度在10nm以上、15nm以下。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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