一种基于表面等离子体的波导光耦合器及其制备工艺。首先在半导体硅（Si）上制备氧化锌（ZnO）薄膜，然后在此薄膜上溅射银（Ag）颗粒，从而制备出光耦合器的波导层。通过优化波导结构和几何参数，产生表面等离子体增强效果，从而使光在波导中传播时不再受衍射极限的限制。