用户登录
用户注册
English
技术供应
>技术供应
>技术需求
>协作成员
>专家委员
>新闻资讯
首页
中心简介
新闻资讯
工作动态
行业资讯
特别关注
热点视频
技术供应
技术需求
协作成员
专家智库
专家咨询委员会
数字展会
成功案例
配套服务
下载中心
《中阿科技论坛》
您当前的位置:
首页
>
供应列表
> 技术详情
薄膜晶体管基板的制造方法
编号:S000019895
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-30
浏览:
2457
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 广东
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种薄膜晶体管基板的制造方法,制程简单,通过连续成膜氧化物半导体层与源/漏极实现良好的接触界面,避免了由于接触电阻过大而产生的拥挤效应,同时,源/漏极通过含有钽的金属材料制得并在源/漏极蚀刻制程中采用含有过氧化氢的蚀刻液对其进行蚀刻,避免了传统蚀刻液对于氧化物半导体层的破坏,提升了薄膜晶体管基板的品质,且,不需要另外制作一层刻蚀阻挡层来保护背沟道处的氧化物半导体层,保证了较高的沟道宽长比(W/L),简化了薄膜晶体管基板的结构,减少了制作过程,降低了生产成本,提高了生产良率。
分享到:
申请对接
收藏此供应
推荐给好友
穿越到手机
联系方式
在线QQ:
机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
认证方式:
相似供应
一种处理城市生活污水的亚硝化颗粒污泥的启动方法
所在区域:中国
转让类型:
合作研发
渗滤液的处理控制方法、装置、系统及污水处理设备
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
活性污泥与生物膜复合循环流污水生化处理工艺及装置
所在区域:中国
转让类型:
科技服务
一种利用河浜汇集并原位生态处理村镇生活污水的方法
所在区域:中国
转让类型:
科技服务