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TFT阵列基板、TFT阵列基板的制作方法及显示装置
编号:S000019797 刷新日期: 有效日期至:2020-10-03 浏览:2443 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种TFT阵列基板、TFT阵列基板的制作方法及显示装置,以解决现有技术中过多使用掩膜板的问题。本发明提供的TFT阵列基板包括:栅线、栅电极、栅绝缘层、有源层、源漏电极、残余半导体层、信号线和形成在信号线和残余半导体层上的过孔,该过孔的侧壁使栅绝缘层、信号线和残余半导体层的侧断面暴露,底面使栅线表面暴露,并且过孔内形成有使信号线与栅线电性连接的搭接导电层。本发明中采用一次构图工艺形成位于栅电极上方的有源层、源极和漏极,以及位于栅线上方的残余半导体层和覆盖残余半导体层的信号线,能够减少掩膜板的使用。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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