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> 技术详情
一种阵列基板的制备方法
编号:S000019762
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-03
浏览:
2406
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明实施例提供了一种阵列基板的制备方法,涉及显示技术领域,可减少掺杂工艺和构图工艺的次数;包括:通过一次构图工艺在基板上形成半导体有源层图案,位于半导体有源层图案两侧的第一图案、位于预定区域的第一图案一侧的第二图案、以及位于其余区域的第一图案一侧的第三图案;对第二图案处的半导体进行掺杂,形成第一导电类型的半导体;对第一图案处的半导体进行一次轻掺杂工艺;形成栅绝缘层,包括栅极图案的栅金属层以及保护层;并形成位于栅绝缘层的第一过孔和位于保护层的第二过孔,第一过孔和第二过孔至少露出第三图案;对第三图案处的半导体进行掺杂,形成第二导电类型的半导体;形成包括源漏极图案的源漏金属层以及像素电极图案。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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