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一种阵列基板的制备方法
编号:S000019762 刷新日期: 有效日期至:2020-12-03 浏览:2406 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明实施例提供了一种阵列基板的制备方法,涉及显示技术领域,可减少掺杂工艺和构图工艺的次数;包括:通过一次构图工艺在基板上形成半导体有源层图案,位于半导体有源层图案两侧的第一图案、位于预定区域的第一图案一侧的第二图案、以及位于其余区域的第一图案一侧的第三图案;对第二图案处的半导体进行掺杂,形成第一导电类型的半导体;对第一图案处的半导体进行一次轻掺杂工艺;形成栅绝缘层,包括栅极图案的栅金属层以及保护层;并形成位于栅绝缘层的第一过孔和位于保护层的第二过孔,第一过孔和第二过孔至少露出第三图案;对第三图案处的半导体进行掺杂,形成第二导电类型的半导体;形成包括源漏极图案的源漏金属层以及像素电极图案。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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