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一种具有P+浮栅电极的非挥发性记忆体及其制备方法
编号:S000019730 刷新日期: 有效日期至:2020-12-21 浏览:2234 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种具有P+浮栅电极的非挥发性记忆体及其制备方法,其半导体基板内的上部设有记忆体细胞;记忆体细胞包括PMOS访问晶体管、控制电容及编程电容;半导体基板内的上部设有若干隔离沟槽,隔离沟槽内设置有隔离介质以形成领域介质区域;记忆体细胞内的PMOS访问晶体管、控制电容及编程电容通过领域介质区域相互隔离;半导体基板的第一主面上淀积有栅介质层,所述栅介质层覆盖隔离沟槽的槽口并覆盖半导体基板的第一主面;PMOS访问晶体管、控制电容两侧隔离沟槽的顶角正上方均设置P+浮栅电极,所述P+浮栅电极位于栅介质层上,并与相应隔离沟槽的顶角相对应。本发明能与CMOS逻辑工艺兼容,提高数据保留时间,提高非挥发性记忆体的使用可靠性。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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