本发明涉及一种基于MEMS透射光阀的显示装置及其形成方法，包括提供包括底层半导体、中间埋层和顶层半导体的多层复合半导体衬底；在所述顶层半导体中形成导光口；在所述顶层半导体剩余部分中制备至少一个MOS器件；在所述MOS器件上形成互连层和层间介质层；在所述导光口上形成与互连层导电相连的MEMS透射光阀，所述MEMS透射光阀被所述层间介质层包围；在所述层间介质层上表面形成透明背板，以及去除所述底层半导体。