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> 技术详情
FinFET器件及其制造方法
编号:S000019606
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-20
浏览:
2226
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
公开了半导体器件以及制造半导体器件的方法,涉及FinFET器件及其制造方法。示例性半导体器件包括衬底,其包括设置在衬底上方的鳍结构,鳍结构包括一个或多个鳍。半导体器件还包括介电层,设置在鳍结构的中心部分上,并横跨一个或多个鳍的每一个。半导体器件还包括功函金属,设置在介电层上兵横跨一个或多个鳍的每一个。半导体器件还包括应变材料,设置在功函金属上并夹置在一个或多个鳍的每一个之间。半导体器件包括信号金属,设置在功函金属和应变材料的上方,并横跨一个或多个鳍的每一个。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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