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FinFET器件及其制造方法
编号:S000019606 刷新日期: 有效日期至:2020-12-20 浏览:2399 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
公开了半导体器件以及制造半导体器件的方法,涉及FinFET器件及其制造方法。示例性半导体器件包括衬底,其包括设置在衬底上方的鳍结构,鳍结构包括一个或多个鳍。半导体器件还包括介电层,设置在鳍结构的中心部分上,并横跨一个或多个鳍的每一个。半导体器件还包括功函金属,设置在介电层上兵横跨一个或多个鳍的每一个。半导体器件还包括应变材料,设置在功函金属上并夹置在一个或多个鳍的每一个之间。半导体器件包括信号金属,设置在功函金属和应变材料的上方,并横跨一个或多个鳍的每一个。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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