本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板和显示器件，涉及显示器件制造技术领域，提高薄膜晶体管的特性。该薄膜晶体管，包括：在透明基板上依次形成栅极、栅绝缘层、半导体有源层、刻蚀阻挡层和源电极和漏电极层；通过对半导体有源层采用分层优化的方案，形成低氧、高导通半导体的层和高氧、低导通半导体的层；实现低的关态电流Ioff和高的开态电流Ion；同时由于是分层优化方案也降低了工艺过程对半导体有源层的影响。本发明实施例用于薄膜晶体管、阵列基板的制造，及利用上述薄膜晶体管、阵列基板驱动的显示器件。