本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置，用以提高薄膜晶体管的电学性能，提高显示装置显示图像的画质。本发明提供的薄膜晶体管包括：基板、形成在所述基板上的栅极、源极、漏极、半导体层和半导体层保护层；以及形成在所述基板上位于所述栅极和半导体层之间的第一栅极保护层，和位于所述第一栅极保护层和所述半导体层之间的栅极隔离层；半导体层保护层位于半导体层与源极和漏极之间；所述源极和漏极通过过孔与所述半导体层相连。