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薄膜光伏电池的制备方法
编号:S000019537 刷新日期: 有效日期至:2020-11-29 浏览:2473 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种半导体器件的制备方法,包括以下步骤:a)提供第一半导体衬底;b)在第一半导体衬底上形成牺牲层;c)在牺牲层上制备半导体器件的功能层;d)将半导体器件的功能层分离成具有预定阵列图案的半导体器件的功能单元;e)采用腐蚀溶液腐蚀牺牲层,实现第一衬底与功能层的剥离。根据本发明,在腐蚀牺牲层之前,先将半导体器件的功能层分离成半导体器件的功能单元的阵列,使得在腐蚀过程中,腐蚀溶液腐蚀牺牲层的腐蚀路径缩短,极大地提高了衬底的剥离速度和剥离均匀性,进而能够提高半导体器件的剥离成品率和生产效率,降低生产成本。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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