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波导型电光调制器及其制作方法
编号:S000019522 刷新日期: 有效日期至:2020-12-22 浏览:2548 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种波导型电光调制器,包括波导结构和上下电极,所述波导结构包括在衬底上至下而上依次排列的下N型半导体包层、半导体芯层和上N型半导体包层,下电极与下N型半导体包层接触,上电极与上N型半导体包层接触,所述下N型半导体包层和半导体芯层之间具有绝缘体层,或者所述半导体芯层和上N型半导体包层之间具有绝缘体层。本发明还公开了一种波导型电光调制器的制作方法。这种结构的电光调制器可有效的形成电流阻挡,降低光场的波导损耗和微波电极损耗。本发明能够改善电光调制器的调制特性。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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