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基于FinFET的ESD器件及其形成方法
编号:S000019517 刷新日期: 有效日期至:2020-11-29 浏览:2263 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种器件,该器件包括多个STI区、位于多个STI区之间且相互平行的多个半导体条以及位于半导体条上方的多个半导体鳍状件。栅堆叠件设置在多个半导体鳍状件的上方并横穿多个半导体鳍状件。漏极外延半导体区设置在栅堆叠件的一侧并与多个半导体鳍状件连接。漏极外延半导体区包括与半导体鳍状件相邻的第一部分,其中第一部分形成位于多个半导体条上方并与多个半导体条对准的连续区。漏极外延半导体区还包括与第一部分相比远离栅堆叠件的第二部分。第二部分中的每一个都位于一个半导体条上方并与该半导体条对准。第二部分相互平行并由介电材料相互分隔开。本发明还公开了基于FinFET的ESD器件及其形成方法。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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