在本发明的一方式的配线缺陷检测方法中，在预先设定的帧数阈值内，缺陷部的温度上升值超过温度上升阈值的情况下，能判断为对应的像素有缺陷。本发明的配线缺陷检测装置具备测量半导体基板的温度并将其图像化的温度测量图像化部。